9 純水供應

　　9.1 一般規定

　　9.1.1 電子產(chǎn)品生產(chǎn)用純水系統的選擇，應根據原水水質(zhì)和產(chǎn)品生產(chǎn)工藝對水質(zhì)的要求，并結合系統規模、材料及設備供應等情況，經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟比較確定。

　　9.1.2 純水的輸送干管應敷設在技術(shù)夾層或技術(shù)夾道內;潔凈室(區)內的純水支管宜暗裝。

　　9.1.3 穿越潔凈室(區)墻壁、樓板、頂棚的純水管道應設套管，套管與管道之間應采取密封措施。

　　9.1.4 潔凈室(區)內純水管道的保溫材料，不得產(chǎn)生污染物，外表面應平整、光滑、易于清潔。

　　9.2 純水系統

　　9.2.1 純水系統的設備配置除應滿(mǎn)足所需水量和水質(zhì)的要求外，還應滿(mǎn)足運行靈活、安全可靠、便于操作管理、運行費用低等要求。

　　9.2.2 純水的制備、儲存和輸送設備，應符合電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝的要求，并應符合下列規定：

　　1 純水的制備、終端處理設備的選型和制造材料的選擇，應滿(mǎn)足供水水質(zhì)、終端水質(zhì)的要求;

　　2 純水儲罐、輸送設備的選型和制造材料的選擇，應確保水質(zhì)污染少、密封性好，不得有滲氣現象;

　　3 純水制備、儲存、輸送設備應有效地防止水質(zhì)降低。

　　9.2.3 純水系統應采用循環(huán)供水方式，宜采用單管式循環(huán)供水系統或設有獨立回水管的雙管式循環(huán)供水系統，并應符合下列規定：

　　1 循環(huán)回流水量應大于設計供水量的30%;

　　2 干管流速應大于等于1.5m/s;

　　3 不循環(huán)支管的長(cháng)度不應大于管徑的6倍;

　　4 干管應設置清洗口;

　　5 管道系統必須密封，不得有滲氣現象;

　　6 應配備在線(xiàn)水質(zhì)檢測儀表;

　　7 對純水水質(zhì)要求嚴格的電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝，應采用雙管式循環(huán)供水系統。

　　9.2.4 純水系統中與純水直接接觸的設備表面應光潔、平整、化學(xué)性質(zhì)穩定、耐腐蝕、易清洗、易消毒。

　　9.2.5 用于純水系統的水質(zhì)檢測設備、量具、儀表，其連接不應使純水水質(zhì)降低，其檢測范圍和精度應符合純水生產(chǎn)和檢驗的要求。

　　9.2.6 純水精處理或終端處理裝置宜靠近用水生產(chǎn)設備設置。

　　9.3 管材、閥門(mén)和附件

　　9.3.1 純水系統管道材質(zhì)的選用，應符合下列要求：

　　1 應滿(mǎn)足純水水質(zhì)指標的要求;

　　2 材料的化學(xué)穩定性應好;

　　3 管道內壁光潔度應好;

　　4 不得有滲氣現象。

　　9.3.2 純水管道的閥門(mén)和附件的選用應符合下列規定：

　　1 應選擇與管道相同的材質(zhì);

　　2 應選用密封好、結構合理、無(wú)滲氣現象的閥門(mén);

　　3 對純水的水質(zhì)要求嚴格的產(chǎn)品生產(chǎn)工藝用純水系統，應采用隔膜閥。