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5、工藝設計

5 工藝設計5.1 一般規定5.1.1 潔凈廠(chǎng)房的工藝設計、工藝布局應為電子產(chǎn)品發(fā)展以及產(chǎn)品生產(chǎn)工藝改造和擴大生產(chǎn)預留必要的條件。5.1.2 潔凈廠(chǎng)房工藝設計應確定各種生產(chǎn)條件，在滿(mǎn)足電子產(chǎn)品生產(chǎn)要求的前提下，應做到安全性能好、建設投資少、能量消耗少、運行費用低、生產(chǎn)效率高。5.1.3 潔凈廠(chǎng)房工藝設計

6、建筑設計

6.1 一般規定6.1.1 潔凈廠(chǎng)房的建筑平面和空間布局，應根據電子產(chǎn)品發(fā)展以及生產(chǎn)工藝改造和擴大生產(chǎn)規模的要求確定。6.1.2 潔凈廠(chǎng)房的主體結構宜采用大空間及大跨度柱網(wǎng)，不應采用內墻承重體系。6.1.3 潔凈廠(chǎng)房的立面設計應簡(jiǎn)潔、明快，并應適應潔凈室(區)的布置要求。潔凈廠(chǎng)房圍護結構的材料選型應滿(mǎn)足保溫

7、空氣凈化和空調通風(fēng)設計

7 空氣凈化和空調通風(fēng)設計7.1 一般規定7.1.1 潔凈廠(chǎng)房?jì)雀鳚崈羰?區)的空氣潔凈度等級，應根據電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝特點(diǎn)和潔凈室型式確定。7.1.2 氣流流型應根據各潔凈室(區)空氣潔凈度等級和電子產(chǎn)品工藝特點(diǎn)的不同要求選用。7.1.3 有下列情況之一者，凈化空調系統宜分開(kāi)設置：1 運行班次或使用時(shí)間不

8、給水排水設計

8 給水排水設計8.1 一般規定8.1.1 潔凈廠(chǎng)房的給水排水干管應敷設在技術(shù)夾層或技術(shù)夾道內，并宜敷設在通行的技術(shù)夾層內。條件合適時(shí)，也可埋地敷設。潔凈室(區)內管道宜暗裝，與本房間無(wú)關(guān)的管道不應穿過(guò)。8.1.2 穿過(guò)潔凈室的水管道，應根據管內水溫和所在房間的溫度、濕度確定隔熱防結露措施。當采取隔熱防

9、純水供應

9 純水供應9.1 一般規定9.1.1 電子產(chǎn)品生產(chǎn)用純水系統的選擇，應根據原水水質(zhì)和產(chǎn)品生產(chǎn)工藝對水質(zhì)的要求，并結合系統規模、材料及設備供應等情況，經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟比較確定。9.1.2 純水的輸送干管應敷設在技術(shù)夾層或技術(shù)夾道內;潔凈室(區)內的純水支管宜暗裝。9.1.3 穿越潔凈室(區)墻壁、樓板、頂棚的純水管

10、氣體供應

10 氣體供應10.1 一般規定10.1.1 潔凈廠(chǎng)房?jì)葢鶕a(chǎn)的需求使用各種不同類(lèi)型的特種氣體、常用氣體、干燥壓縮空氣，其氣體品質(zhì)應滿(mǎn)足生產(chǎn)工藝要求。10.1.2 常用氣體的供氣方式和供氣系統，應根據氣體用量、氣體品質(zhì)和當地的供氣狀況等因素，經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟比較后確定。10.1.3 潔凈廠(chǎng)房常用氣體、特種氣體的

11、化學(xué)品供應

11 化學(xué)品供應11.1 一般規定11.1.1 潔凈廠(chǎng)房?jì)然瘜W(xué)品的儲存、輸送方式，應根據產(chǎn)品生產(chǎn)工藝和化學(xué)品的品質(zhì)、數量、物理化學(xué)特性等確定。11.1.2 潔凈廠(chǎng)房?jì)仁褂玫母黝?lèi)化學(xué)品應按照各自的物理化學(xué)特性分類(lèi)和儲存，并應符合現行國家標準《常用危險化學(xué)品的分類(lèi)及標志》GB 13690的有關(guān)規定。11.1.3 在潔凈室

12、電氣設計

12 電氣設計12.1 配 電12.1.1 潔凈廠(chǎng)房的用電負荷等級和供電要求，應根據電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝及設備要求和現行國家標準《供配電系統設計規范》GB 50052的有關(guān)規定確定。12.1.2 潔凈廠(chǎng)房低壓配電電壓等級應符合生產(chǎn)工藝設備用電要求。帶電導體系統的型式宜采用單相二線(xiàn)制、三相三線(xiàn)制、三相四線(xiàn)制。系統接地型式

13、防靜電與接地設計

13 防靜電與接地設計13.1 一般規定13.1.1 潔凈廠(chǎng)房應根據生產(chǎn)工藝要求設置防靜電環(huán)境。防靜電環(huán)境設計應滿(mǎn)足抑制或減少靜電的產(chǎn)生，以及將已產(chǎn)生的靜電迅速、安全、有效地排除的要求。13.1.2 防靜電環(huán)境設計應按電子產(chǎn)品或生產(chǎn)工序(設備)進(jìn)行分級。防靜電環(huán)境內靜電電位絕對值應小于電子產(chǎn)品的靜電電位安全

14、噪音控制

14 噪聲控制14.1 一般規定14.1.1 潔凈廠(chǎng)房的噪聲控制，應滿(mǎn)足電子產(chǎn)品生產(chǎn)的要求，并應保持工作人員具有舒適、安全的環(huán)境。14.1.2 潔凈廠(chǎng)房的噪聲控制設計應符合現行國家標準《工業(yè)企業(yè)噪聲控制設計規范》GBJ 87的有關(guān)規定。14.1.3 潔凈室(區)的噪聲控制設計的噪聲級(空態(tài))應符合本規范第3.2.5條的規定